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氟化钙晶体(calcium fluoride crystal),化学式为CaF₂,属
,呈立方体或八面体结构,密度3.18g/cm³,折射率1.434。自然界以
方式存在,含杂质时出现多彩色泽并具有荧光现象。其透光波段掩盖0.13~10微米,在紫外至红外光谱区具有高透过率,且在200nm波长以上无显着本征双折射,广泛使用于
该晶体选用热交换坩埚下降法制备,德国研发的单晶直径已达350mm,经热处理后位错密度可从10cm⁻²降至10³cm⁻²量级
。作为深紫外光刻机中心资料,其内透过率超越99.3%/,应力双折射小于5nm/cm,处理国产芯片制作中70nm微细结构加工需求
化学式为CaF2的晶体。属立方晶系,透光波段为0.13~10µm的光学晶体资料。是优秀的紫外、红外窗口资料。
资料科学技术(一级学科),无机非金属资料(二级学科),晶体资料(三级学科)
使用学科:资料科学技术(一级学科),无机非金属资料(二级学科),晶体资料(三级学科)
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